三次元檢測的原理是將被測物體置（zhì）於三坐標測量空（kōng）間，可獲得被測物體上各測（cè）點的坐標位置，根據這些點的（de）空間坐標值，經（jīng）計算求出被測物體的幾何尺寸，形狀和位置。它可以測量被測物的同心度，平行度，平（píng）麵度，同軸度，位置度，垂直度等幾何形位公差。
直線度：直線度是（shì）表示（shì）零件上（shàng）的直線要（yào）素實際形狀保（bǎo）持理想直線的狀況。也就是通常所說的平直（zhí）程度。直（zhí）線度公差是實際線對理想直線所允許（xǔ）的變動（dòng）量。也就是在圖樣上所給定的，用以限製實際線加（jiā）工誤差所允許的變動範圍。
平麵度：平麵度是表示零件的平麵要素（sù）實（shí）際形狀，保持理想（xiǎng）平麵的狀況。也就是通常所說的（de）平整程度。平麵度公差是實際表麵對平麵所允許（xǔ）的變動量。也就是在圖樣上給定的，用以限（xiàn）製實際表（biǎo）麵加工誤差所（suǒ）允許的變動範圍。
圓度：圓度是表示零件（jiàn）上圓的要素實際形狀，與其中心保持等距的情況。即通常所（suǒ）說的圓（yuán）整程度。圓度公差是在同一截麵上，實際圓（yuán）對理想圓所允許的變動量。也就（jiù）是圖樣上給定的，用以限製實（shí）際圓（yuán）的加工誤差所允許（xǔ）的變（biàn）動範圍（wéi）。
圓柱度：圓（yuán）柱度是（shì）表示零件上圓柱麵外（wài）形輪廓上的各點，對其軸線保持等距狀況。圓柱度公差是實際圓柱麵對理想圓柱麵所允許的變動量（liàng）。也就是圖樣上給定的，用以限（xiàn）製實際圓柱麵加工誤差所允許的（de）變動（dòng）範圍。
線輪廓度：線輪廓度是表（biǎo）示在零件的給定平麵（miàn）上，任意形狀的曲線，保持其理想形狀的（de）狀況。線輪廓度公差是指（zhǐ）非圓曲線的實際輪（lún）廓線的允許變動量。也就是圖樣上給（gěi）定的，用以限製實際曲線加（jiā）工（gōng）誤差所允許的變動範圍。
麵輪廓度：麵輪廓度是表示零件上的任意（yì）形狀的曲麵，保持其理想形狀的（de）狀況。麵輪廓度公差是指非圓（yuán）曲麵的實際輪廓線，對理想輪廓麵的（de）允許變動（dòng）量。也就是圖樣上給（gěi）定的，用（yòng）以限製實（shí）際曲麵加工誤（wù）差的變動範圍。
平行度（dù）：平行度是表示零件上被測實際要素相對於基準保持等距離的狀況。也就是通常所說的保持平行的程度。平行度公差是：被測要素的實際方向，與基準相平行的理（lǐ）想（xiǎng）方向之間所允許的（de）變動量。也就（jiù）是（shì）圖樣上所給出的，用以限製被測實際要素偏離平行方向所允許的（de）變動範圍。
垂直度：垂直度是表示零件上被測要素相對於基準（zhǔn）要素，保持正確的90°夾角狀況。也就是通（tōng）常所說（shuō）的兩要素之（zhī）間保持正交的程度。垂直度公差是：被測（cè）要素（sù）的實際方向，對於基準相垂直的理想方向之間，所允許的變動量。也就是圖樣上給出的，用以限製被測實際要素偏離垂（chuí）直方向，所允許的變動範圍。
傾斜度（dù）：傾斜度是表示零件上兩要素相對方向保持任意給定角度（dù）的正（zhèng）確狀況。傾斜度公差是：被測要素（sù）的實際方向（xiàng），對於基準成任意給定角度的理想方向之間所允許的變動量。
對稱度（dù）：是表示零件上兩（liǎng）對稱中心要素保持（chí）在同一中心平麵內的狀態。對稱（chēng）度公差是：實（shí）際要素的對稱中心麵（miàn）(或中心線、軸線)對理（lǐ）想對稱（chēng）平麵所（suǒ）允（yǔn）許的變動量（liàng）。該理想對稱平（píng）麵是指與基準對（duì）稱平麵(或中心線、軸線)共（gòng）同的理想平麵。
同軸度：同軸度（dù）是表示零件（jiàn）上被測軸線相對於基準軸線，保持在同一（yī）直線上的狀況（kuàng）。也就是通常所說的（de）共軸程度（dù）。同軸度公差是：被測實際軸線相（xiàng）對於基準軸線所允許的變動量。也就（jiù）是圖樣上給出的，用以限製（zhì）被測實際軸線（xiàn）偏離由基準（zhǔn）軸線（xiàn）所確定的理想位置所允（yǔn）許（xǔ）的變動範圍。
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