1、接觸式
粗糙度測量儀工作(zuò)原理
觸針式(shì)測量原理:
接觸式粗糙度測量儀主要部件是一個(gè)很尖的觸針。當測量儀在被測表麵移動(dòng)時,觸針(zhēn)會隨著表麵的微觀輪廓(kuò)上下起伏。觸針的上下位移(yí)變化通過傳感器(通常是電感式、壓電(diàn)式或電容式傳感器)轉換為電信號。例如,電感(gǎn)式傳感器利用電磁感應原理,當觸(chù)針移動導(dǎo)致電感線圈中的磁通量發生變化時,就會產生與位移成正比的電信號。

這些(xiē)電信號經過(guò)放大、濾波等信號處理(lǐ)過程(chéng),去除噪聲和幹(gàn)擾信號。然後(hòu),通(tōng)過內置的算法,根據電信號的變化計算出表麵粗糙度的各項(xiàng)參數。比如,計算出輪廓算術平均偏差(Ra)、微觀不平度十點高度(dù)(Rz)等常用參數。
測量範圍與精(jīng)度:
觸針的針尖半徑一般在 2 - 10μm 之間(jiān),這決(jué)定了它能夠精確測量到的微(wēi)觀輪廓細節。測量範圍方麵,垂直方向(觸針位(wèi)移方向)通常(cháng)可以達到幾微米到幾百微米,水平(píng)方向(測量儀移動方向)的測量長度可(kě)以根據(jù)儀器的型號和設置有所不同,從幾毫米到幾十毫米不等。
精(jīng)度方麵,接觸式粗糙度測量儀可以(yǐ)達到較高的精度。例如,對於(yú) Ra 值的測量精度可(kě)以達到(dào) ±0.02μm 左右,能夠滿足(zú)大(dà)多數機械加工表麵和精密製造表麵的粗糙度測量要求。
驅動(dòng)機構原理:
為了使觸(chù)針在被測(cè)表麵均勻、穩定地移動,測量儀配備有驅動機構。常見的是(shì)電(diàn)機驅(qū)動的直(zhí)線導軌(guǐ)機構。電機通過絲杆或同(tóng)步帶等傳動方式,帶動測(cè)量儀的探頭(包含觸針)沿著被測表麵以一定的速度直線運動。速度通常可以(yǐ)在一定範圍內(nèi)調節,比如從 0.1mm/s 到(dào) 5mm/s,以適應(yīng)不(bú)同的測量要求和表麵特性。
2、非接觸式粗糙(cāo)度測量儀工作原理
光學測量原理(以激光幹涉為(wéi)例):
非接(jiē)觸式粗糙度測量儀利用(yòng)光學原理進行測量。以激光幹涉粗糙度測量儀為例,它通過發射激光束(shù)到被測表麵。當激光照射到表麵時,由於表麵(miàn)微觀輪(lún)廓的高低不平,反射光會與參考光發生幹涉現象。
幹涉條紋的形(xíng)狀和間距與表麵微觀輪廓的高度變化有關。通過光學傳感器(如 CCD 或(huò) CMOS 探(tàn)測器)接收(shōu)幹(gàn)涉條紋,將其轉換為數字圖像信號。然後,利用數(shù)字圖像處理技(jì)術和專門的算法,對幹涉條紋圖(tú)像進行分析,計算出表麵粗糙度參數。
其他光學方法(如(rú)光散射):
光散射(shè)方法也是(shì)非接觸式測量的(de)一(yī)種(zhǒng)。當一束光照射到粗糙表麵時,會發生散射現象。表麵粗糙度不(bú)同,光(guāng)的散射特性也不同。通過(guò)檢測(cè)散射光的強度、角度分布等信息,就可以推算出表麵的粗糙度。例如,在一些基於光散射的測量儀中,通過多(duō)個角度的光探測器收集散射(shè)光,經(jīng)過複雜的數學模型計(jì)算,得出粗糙度參數。
測量範圍(wéi)與精度特點:
非接觸式測量(liàng)儀的測量範(fàn)圍因測量(liàng)原理和儀器設計而異。在垂直方向(xiàng),對於一(yī)些激光幹(gàn)涉測量(liàng)儀,測量範圍可以從納米(mǐ)級到幾(jǐ)十微米;在水(shuǐ)平方向,測量區(qū)域大小可以通過調整光學係統的視場範圍來改變,一般可以從幾毫米(mǐ)的微觀區域到較大麵積(jī)的宏觀區域。
精度方麵,非(fēi)接(jiē)觸式測量儀在納米級粗糙度(dù)測(cè)量上具(jù)有優勢。例如,在測量超精密(mì)加工表麵或光學鏡(jìng)片表麵時,精(jīng)度可以達到納米級,如 ±1nm 左右的 Ra 值測量(liàng)精度,能夠滿足(zú)高精度製造和光學領域的需求。
3、便攜式粗糙度測量儀工作原理特點
簡(jiǎn)化的接觸式原理應用:
便攜式粗糙度測量儀大多(duō)是(shì)接觸式的。其基本原理(lǐ)與上述接觸式測量儀類(lèi)似,也(yě)是通過觸針感知表麵微觀輪廓。但是,為了便於攜帶和(hé)現場操作,它的結構更加緊湊。例如,將驅(qū)動機構簡化為手動驅動或小型電機驅動的簡單直線(xiàn)運動裝置,觸針和傳感器(qì)集成(chéng)在一個小(xiǎo)型探頭內。
信號處理和顯示部(bù)分通常采用小型化的電子電路和顯示屏(píng)。在現場測量時,操作人員手(shǒu)持測量儀,將探頭放在被測表麵,通過手動或電(diàn)動方式使觸針在表麵移動一(yī)定距離,測量儀內部的傳感器將觸針位移轉(zhuǎn)換為電信號,經過處理後直接在顯示屏上顯示出粗糙度參數。
功能(néng)特點與局限性:
便(biàn)攜式粗糙度測量儀的優點是方便攜帶(dài),能在車間現場、野外設備等環境下快速測量。它可以測(cè)量多種(zhǒng)金屬和非金屬材料的表(biǎo)麵粗糙度,如(rú)機械零件、模具、管道(dào)等。
然而,由於其結構緊湊,便攜式測量儀在測量範圍和精度上可能(néng)不如大型的、實驗室用的粗糙(cāo)度測量儀。例如,其垂直測量範圍可能較窄,精度也會稍低(dī),通常 Ra 值的測量精度在 ±0.05μm 左(zuǒ)右,但對於大多數現場質量控製和初步(bù)檢測已經足夠。