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三（sān）次元儀器測量顯微鏡（jìng）有哪些原理？
文章出處：新聞資訊
責任編輯：東莞市香蕉视频啪啪測（cè）量儀（yí）器有限公司
發表時間：2020-08-19
測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特（tè）別適用於錄像磁頭、大規模集成電路線寬（kuān）以（yǐ）及其它精密（mì）零件的測試儀器。廣泛地適（shì）用於計（jì）量（liàng）室、生產作業線及科學研究等（děng）部門。 三次元儀器 測量顯微鏡有哪些原理？ 測量顯微鏡與STM類似，在AFM中，使（shǐ）用對微弱力非常（cháng）敏感的（de）彈性懸臂上的針尖對樣品表麵作光（guāng）柵式掃描。當針尖和樣（yàng）品表麵的距（jù）離非常接近時（shí），針尖尖（jiān）端的原子與樣品表麵的原子之間存在極微弱的（de）作用力（ N），此時，微懸臂就（jiù）會發（fā）生微小的彈性形變。針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵循虎克定律：F=-k*x ，其中，k為微懸臂的力常（cháng）數。所以，隻要測（cè）出微懸臂形變量的大小，就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。 針尖與樣品之間的作（zuò）用力與距離有強烈（liè）的依賴關係，所以在掃（sǎo）描（miáo）過程中利用反饋回路（lù）保持針尖與樣品之間的作用力恒（héng）定，即保持為懸臂的形變量不變，針尖就（jiù）會隨樣品表麵（miàn）的起伏上下移（yí）動，記錄針尖上下運動的軌跡即可得（dé）到樣品表麵形貌（mào）的信息（xī）。 這種工作模式被稱為“恒力”模式（Constant Force Mode），是使用廣（guǎng）泛的掃描方式。 AFM的圖（tú）像（xiàng）也可以使（shǐ）用“恒高”模式（Constant Height Mode）來獲得，也就是在X，Y掃（sǎo）描過程中，不使用反饋（kuì）回路，保持針尖與樣品之間的距離恒定，通過測量微懸臂Z方向（xiàng）的（de）形變量來成像。這種方式不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速（sù）度，通常在觀察原子（zǐ）、分子像時用得比較多，而對於表麵起伏比較大的樣（yàng）品不適用（yòng）。
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