三次(cì)元儀器之三(sān)次元測量儀一般區分為滾珠線性(xìng)滑軌(guǐ)及氣浮滑軌兩(liǎng)種,滾珠線性滑(huá)軌的幹涉及變形較大,比較少使用在大型機台;現今的(de)主流為氣浮滑軌,其原理為壓縮空氣在(zài)空氣(qì)軸承與軌道間形成一個幾微(wēi)米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空氣層,也就是(shì)說(shuō)空氣軸承會浮在軌道上,這時便可輕易移動。

傳動方式分手動、馬(mǎ)達傳動兩種。一般有三種機型區分:
1. 手動量測 直接拉著Z軸或人工旋轉手輪來移動(dòng)。
2. 電控量測(cè) 移動軸安裝馬達,利(lì)用搖杆或電子手輪來控製移動。
3. CNC ( DCC) 自動量測 移動軸均安(ān)裝伺服馬達,並利用(yòng)電控係統,在程式指令下可自動量測(cè)。